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半导体机器人 Semiconductor Robot

1915年安川电机作为电机厂商起家,后率先在世界上提出“机电一体化”概念。拥有自己的伺服/机电/工控的三大核心产品的安川电机自30年前推出半导体机器人以来,已为全球供应了30,000多台半导体机器人,全球市场占比领先。为满足用户对生产线高稳定性和高产能性的需求,安川开发了新一代半导体晶片搬运机器人MR124,并供应EFEM的系统成套设备。

联系人:顾小姐

电 话:021-53061100*293

新组合的robot大动作范围:EFEM模块移动距离可达4套应用设备,无需使用底架,极大地提高了搬运效率

高速搬运节拍满足:最快300枚/小时

适用wafer对象:300mm~450mm晶片搬运